热重分析质谱仪是指在程序控制温度下测量待测样品的质量与温度变化关系的一种热分析技术，用来研究材料的热稳定性和组份。热重分析在研发和质量控制方面都是比较常用的检测手段，在实际的材料分析中经常与其他分析方法连用，进行综合热分析，全面准确分析材料...

气体流量混合器由压力传感器、电磁阀组、气体混合简和贮气简等组成，混合器操作是，先在微机控制器设定2-3中气体混合的比例值和混合简与贮气筒的真空值。按下自动操作按钮后，首先启动真空泵抽出简内空气，达到设定真空值后即开始自动气体比例混合的程序操...

PECVD法生长氮化硅薄膜是利用非平衡等离子体的特性，即等离子体分子、原子、离子或激活基团与周围环境相同，而其中非平衡电子由于电子质量很小，其平均温度可以比其他粒子大一二个数量级，所以通常条件下，要高温(300℃-450℃)才能实现许多反应...

质谱法(massspectrometry)常称为质谱(MS)，是一种利用质量分析方法进行鉴定物质结构的仪器分析方法。质谱分析法是通过对被测样品离子的质荷比的测定来进行分析的一种分析方法。被分析的样品首先要离子化，然后利用不同离子在电场或磁场...

Harrick等离子清洗机是一种全新的高科技技术，利用等离子来达到传统清洗方法无法达到的效果。等离子体是一种物质状态，也称为第四种物质状态。向气体施加足够的能量使其电离，使其变成等离子体状态。等离子体的“活性”成分包括离子、电子、活性基团、...

微波等离子去胶机是在（RIE）反应离子刻蚀机的基础上简化改进而来，为小型等离子去胶机，具有体积小，性能优良、用途多、工艺速率高、均匀性及重复性好、价格低、使用方便等特点。是各电子器件企业及科研单位、大专院校的机型。适合于微电子制作工艺中光刻...

热重分析是指在程序控制温度下测量待测样品的质量与温度变化关系的一种热分析技术，用来研究材料的热稳定性和组份。热重分析在研发和质量控制方面都是比较常用的检测手段，在实际的材料分析中经常与其他分析方法连用，进行综合热分析，全面准确分析材料。实验...

PDC-002等离子清洗机包含PAC、PPC、HPC和SCE，可以满足实验室到工业的应用、从低温处理到带冷却处理的应用、从铝质腔体到石英腔体的应用、从简单紧凑的设备到可以通过软件进行延展的应用，等等。该等离子清洗机，作为蚀刻系统，主要用在工...

等离子清洗机真空泵原理是两个电极之间形成高频交变电场，用真空泵在装置的密闭容器中实现一定的真空度随着气体越来越稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也越来越长，区域内气体在交变电场的激荡下，形成等离子体。在真空和瞬时高温状态下，活性等离子...

Harrick等离子清洗机为一种绿色无污染的高精密干法清洗方式，可以有效去除表面污染物，避免静电损伤。在集成电路的制程中，会产生许多种类的污染物，包括氟化树脂、氧化物、环氧树脂、焊料、光刻蚀剂等，这些污染物将严重影响集成电路及其元器件的可靠...